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矢量網絡分析儀應用于薄膜測試方案

2023-11-14 09:00:00

一、高端矢量網絡分析儀

(一)關鍵核心技術攻關成果

1、四個內部相位相參信號源及八個真正并行測量的接收機

2、動態范圍大:130 dB(典型值)

3、跡線噪聲不足0.001 dB,測量精度高

4、支持64個通道測量、同時顯示32個測量窗口

5、四川省重大技術裝備國內首臺軟件首版次推廣應用指導目錄

矢量網絡分析儀

          頻率范圍:10 MHz~50 GHz

(二)應用領域

1、微波毫米波芯片研發與生產測試

2、微波射頻器件研發與設計

3、雷達、通信等電子裝備測試

4、自動化測試及校準

5、TR組件測試

(三)其他矢量網絡分析儀

1、首款

(1)簡介:一款用于測量放大器、功分器、耦合器、濾波器、隔離器等多功能矢量網絡分析儀

(2)主要指標:

        頻率范圍:10 MHz~50 GHz

        八個真正并行測量的接收機

        高動態范圍:120 dB(典型值)

        跡線噪聲不足0.001 dB,測量精度高

矢量網絡分析儀


2、第二款

(1)簡介:一款多功能經濟型矢量網絡分析儀,適用于大規模生產的產線,穩定可靠,經濟適用。

(2)主要指標:

1、頻率范圍:300 kHz~26.5 GHz

2、高動態范圍:120 dB(典型值)

3、幅度跡線噪聲:≤0.006 dB

4、相位跡線噪聲:≤0.05°

5、中頻帶寬:1 Hz-10 MHz

矢量網絡分析儀

(四)測試夾具-分離諧振腔介電常數測試設備

(1)主要技術指標

1、測試對象:低損耗均質片狀材料;

2、測試頻率:5~15 GHz(至少包含5GHz、10GHz兩個頻點)

3、測試范圍:

     介電常數 r:1.02 ~ 20.0

     電損耗角正切tan:1×10-4 ~ 3.0×10-2

4、測試誤差:

      | r / r | ≤2.0 %             r=2 ~ 20

      | r | ≤ 2.0% r + 0.01         r=1.02 ~ 2

      | tan |  10% tan + 1×10-4

     測試結果與厚度相關性大,測試精度可能受厚度測量準確性影響。

5、樣品尺寸要求:

     直徑無固定尺寸要求,≥85mm;

     厚度范圍為20um~2mm,頻率越高,介電常數越大,厚度越薄。

矢量網絡分析儀

(五)測試系統

          微波信號首先由矢量網絡分析儀的一個測試端口,經過同軸電纜與耦合裝置,進入到測試腔體中,后又經過另一耦合裝置與電纜接到矢量網絡分析儀。通過測量該傳輸信號,得到測試空腔和加載測試樣品后的諧振頻率和品質因數,經由理論分析計算獲取被測樣品在不同頻率下的介電常數和損耗角正切。

矢量網絡分析儀

                 

                 分離式諧振腔測試系統框圖 


(六)測試系統組成

矢量網絡分析儀

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