一、概述

      第三代半導體由于其寬禁帶所帶來的，低驅動電壓，低開關損耗等特點，有著光伏，風電，特高壓傳輸，儲能，新能源汽車等廣泛的應用市場。其di/dt可能會高達幾十千A/μs，且可達中高壓1-10kV，傳統的電流探頭和差分探頭在持續高頻高共模電壓的情況下無法解決類似的測試問題。下面介紹下第三代半導體電壓電流測試設備：

二、第三代半導體電壓電流測試設備

（1）SDG1000X Plus任意波形發生器

      采用創新的TrueArb技術，可以兼顧DDS 技術的簡單靈活和逐點輸出技術對信號原始信息的保留；應用Easypulse技術，能夠生成高質量，低抖動的方波。能夠便捷輸出高40Mbps的PRBS碼型。支持多脈沖輸出，助力功率器件雙脈沖測試。SDG1000X Plus系列具有16-bit高垂直分辨率，高60MHz輸出頻率，20V輸出幅度，1GSa/s采樣率，8Mpts任意波點數，這些顯著的性能提升使SDG1000X Plus成為工程師生成信號時更加重要的工具。

（2）高壓源

      PRD系列產品新一代雙向可編程直流電源，該產品是一款具有源載功能、自動兩象限運行、能吸收被測試設備能量回饋的電源。廣泛應用于光伏逆變器、儲能變流器、光伏/儲能混合式逆變器系統測試中太陽能電池板模擬、儲能電池/電容模擬等場合。也適用于新能源汽車雙向車載充電器、DC/AC電機驅動器、雙向直流變換器模擬電池測試等場合。 內置獨立高精度電壓、電流測量系統，全新編程理念，直達源、載本質。快至微秒量級的動態特性，將直流產品測試提升至全新高度，實驗室內即可模擬現場異常工況。

（3）示波器

      8通道SDS6000 Pro高分辨率高帶寬數字示波器，帶寬可達2 GHz，有10-bit、12-bit兩種垂直分辨率可選，單通道實時采樣率和存儲深度可達10GSa/s以及500Mpts。Sequence模式下，波形捕獲率高至750,000 wfm/s，8個模擬通道再疊加數字通道，可同步監測和分析8+16路信號，具備模板測試、波特圖、電源分析、邏輯分析、眼圖和抖動分析等強大的分析工具，可廣泛應用于電機控制、汽車電子、通信、計算機、新能源等行業。

（4）探頭

      柔性電流探頭/羅氏線圈：CP9000SA 系列探頭感應環細小柔軟，線徑典型值 2.5mm、2.5mm*1.2mm、1.6mm，耐壓值分別高達2kVpk、1kVpk和1kVpk，其中，D2A 系列電流環的線圈耐溫能達到 150℃，非常適合 MOSFET，IGBT 器件管腳電流測量（TO-220,TO-47 封裝）、電容紋波電流測量等小封裝器件電流測量。

      光隔離探頭：OPL6000系列激光供電光隔離探頭，是具有超高共模抑制比的光纖隔離電壓探頭。傳統差分探頭的共模抑制比在高頻段下降很快，導致準確測量高共模干擾電壓下的小電壓信號波形極其困難（比如測量半橋電路上管的驅動電壓）。OPL6000釆用了高性能的激光器光纖信號傳輸系統，從而在整個工作帶寬內具有超高的共模抑制比，可以幫助客戶用很低的成本完成這類挑戰性的測量。

      低壓差分探頭：DP6020A、DP6040A和DP6060A探頭是具有浮地測量功能的低壓差分探頭。測量電壓分別±20V(DC+Pk)、40V(DC+Pk)和60V(DC+Pk),其帶寬高達800MHz，提供 10:1 、20:1和50:1的衰減設置，具有 200KΩ和400KΩ 的輸入阻抗，以及 1 pF和0.5pF 的低輸入電容，可以降低電路負載；具有過壓報警功能，可以兼容任何具有 50 Ω BNC 輸入的示波器，并可以通過示波器或計算機上的 USB 端口供電。在各種應用中得到廣泛使用，可以為當今的高速功率測量、車載總線測量和數字系統設計提供出色的通用差分信號測量。

      高壓差分探頭：DP6000D系列高壓差分探頭是具有浮地測量功能的高壓差分探頭。其帶寬高達到500MHz，滿足了大部分測試系統的需要；豐富的量程可供選擇，其差動測量電壓范圍滿足大部分測試電路的要求；用戶可進入測試模式，調整偏置電壓，探頭長期使用后若出現失調現象，用戶可進入該模式，調整偏置，實現歸零；電子輕觸式按鍵，使得使用壽命更長；具有5MHz帶寬限制功能選擇，5MHz頻率帶寬滿足大部分開關電源中FETs的開關頻率的測量，并可以濾除更高頻率的噪聲和干擾；帶有聲光報警功能，且可手動關閉聲音報警功能，更具有人性化設計；USB供電接口，使用更加方便靈活；探頭配備標準的BNC輸出接口，可與任何廠家的示波器配合使用(要求示波器輸入阻抗設置為 50Ω（建議使用示波器內部50Ω）， 或者接標配的貫通式 50Ω負載，示波器輸入阻抗設置成 1MΩ)測量被測電路波形；自動保存功能，防止掉電后用戶重復操作。探頭具備良好的共模噪聲抑制能力，輸入端具有較高的輸入阻抗和較低電容，可以準確高速地測量差分電壓信號。可廣泛用于開關電源﹑變頻器﹑電子鎮流器﹑變頻家電和其它電氣功率裝置等的研發﹑調試或檢修工作中。

      羅氏線圈：CPHX9000B系列羅氏線圈高頻電流探頭是僅測試AC電流信號的高頻電流探頭，具有高帶寬，高精度（典型值2%）等特點。帶寬高達220MHz，標準的BNC輸出接口，很方便實現與示波器，數據采集器等連接，觀測電流波形；4 節 5 號電池供電或者外部 USB DC5V 電源供電，使用更加靈活方便；聲光過流報警功能，更具人性化設計；探頭環和連接線長度可以根據客戶要求定制，滿足特殊場合測試要求。

五、第三代半導體電壓電流測試設備實測圖